Краткое описание: |
Для автоматического непрерывного измерения концентрации в воздухе рабочей зоны токсичных газов, газов сопутствующих производству полупроводниковых приборов и интегральных микросхем, а также водорода и кислорода и выдаче предупреждающих сигналов при превышении заданных уровней концентрации, для использовании в электронной промышленности при производстве полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Диапазон измерения: HCl, SiH4, TEOS от 0 до 15 ppm; NH3 от 0 до 75 ppm; AsH3 от 0 до 0,2 ppm; Cl2 от 0 до 1,5 ppm; РН3 от 0 до 1 ppm; Н2 от 0 до 2000 ppm; от 0 до 25% об.д.; NF3 от 0 до 30 ppm. |
|