Краткое описание: |
Относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4) м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, атомно-силовых микроскопов, профилометров и других средств измерений малой длины. Область применения: оснащение органов метрологических служб, оснащение лабораторий и испытательных центров, оснащение научных и учебных лабораторий, применяющих указанное оборудование для калибровки.
Диапазоны значений высоты выступов в шаговых структурах меры, нм 20, 110, 520.
Погрешности, нм +-2, +-10, +-20. |
|