Относятся к классу мер рельефных нанометрового диапазона и предназначены для передачи размера единицы длины в диапазоне 10^(-9)...10^(-4) м и поверки (калибровки) оптических ближнего поля, растровых электронных, сканирующих туннельных и атомно-силовых микроскопов и других средств измерений малой длины, область применения: микро-, опто-, наноэлектроника, нанотехнология, микромеханика, фармацевтика и микробиология, производство полимеров и генная инженерия, создание наноструктурных материалов, оснащения органов государственных и метрологических служб.
Номинальное значение шага меры t, мкм 2,00. Диапазон значений: ширины верхнего основания выступов меры b, нм 10...500; высоты выступов меры h, нм 100...1400; проекции боковой стенки выступа на плоскость нижнего основания выступов меры а, нм 75...980.
Допустимое отклонение от номинального значения шага шаговой структуры, не более, мкм +-0,05. |